變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度，廣泛用于半導體生產工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。分析儀儲存了校準光譜，故省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會發(fā)現MultiGasTM6030傅利葉變換紅外光譜分析儀操作簡便，易于維護。專業(yè)分析軟件及獨立的定量光譜庫組成。收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫分析，提供絕大多數氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測量。